半导体晶圆微观图

产品与解决方案

精密制造,匠心独运

精密工艺零部件

Showerhead 气体喷淋头

针对 CVD、PVD、Etch 工艺需求,提供高精度 Showerhead 气体喷淋头定制和销售服务,从材质选型到孔径分布支持深度定制。

  • 材质多样:高纯铝合金、氧化铝陶瓷、不锈钢等多种材质可选。
  • 精密加工:微孔加工达微米级精度,确保气流分布均匀稳定。
  • 表面处理:专业阳极氧化与特殊涂层,抗等离子体腐蚀,延长使用寿命。

Chuck Pin 卡盘销

专为单片湿法清洗设备设计的 Chuck Pin,在高速旋转中精准支撑晶圆,确保稳定性与低颗粒污染。

  • 抗化学腐蚀:选用 PEEK、PVDF、PPS 等高性能工程塑料,耐强酸强碱。
  • 低颗粒污染:优化表面光洁度,显著降低与晶圆接触时的颗粒产生。
  • 完美适配:可完全替换原厂部件,支持 DNS、TEL 等主流机型。

专业技术服务

厂务设备预防性维护 (PM) 服务

厂务端设备是晶圆厂稳定运行的心脏。我们提供全方位的PM服务,旨在最大化您的设备正常运行时间(Uptime)并延长资产使用寿命。我们不仅仅是更换零件,更是您产线背后的保障团队。

标准化 PM 流程

严格遵循 SOP 进行定期巡检、清洁、校准及易损件更换。

7x24小时 应急响应

本地化团队随时待命,快速处理突发故障,最小化生产中断。

备件库存管理

依托强大的供应链,为您建立关键备件的安全库存。

持续改善 (CIP)

基于维护数据分析,提出设备改造建议,降低拥有成本 (CoO)。